半導(dǎo)體膜厚測試儀能提供一般鍍層厚度和元素分析功能,鍍層厚度和元素成色同時進(jìn)行,只需數(shù)秒鐘,便能非破壞性地得到準(zhǔn)確的測量結(jié)果,多層鍍層的樣品也一樣能勝任輕巧的樣品室,適合不同大小的樣品,功能實用,準(zhǔn)確性高,是五金電鍍,首飾,端子等行業(yè),可測量各類金屬層、合金層厚度。
性能特征:
1、X射線激發(fā)系統(tǒng):垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng)。
2、快速、精確的分析:大面積正比計數(shù)探測器和博曼儀器50瓦微聚焦X射線光管(X射線光束強度大、斑點小,樣品激發(fā)佳)相結(jié)合。
3、準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng):可同時裝配4種規(guī)格的準(zhǔn)直器。
4、長期穩(wěn)定性:自動熱補償功能測量儀器溫度變化并做修正,確保穩(wěn)定的測試結(jié)果。
5、例行進(jìn)行簡單快速的波譜校準(zhǔn):可自動檢查儀器性能(例如靈敏性)并進(jìn)行必要的修正,堅固的工業(yè)設(shè)計,可在實驗室或生產(chǎn)線上操作。
6、簡單的元素區(qū)分:通過次級射線濾波器分離元素的重疊光譜,性能優(yōu)化。
7、可分析的元素范圍大:預(yù)置800多種容易選擇的應(yīng)用參數(shù)/方法。
8、測厚范圍可測定厚度范圍:取決于您的具體應(yīng)用,基本分析功能采用基本參數(shù)法校正。
9、樣品種類:鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量)。
半導(dǎo)體膜厚測試儀精密度測試,精密度表示對同一個對象進(jìn)行多次測量,表征測試結(jié)果分散程度的物理量,它是一個與多次測試數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差有關(guān)的物理量。目前,對一組具有嵌套性或不具有嵌套性的數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)偏差求解問題的研究已經(jīng)相當(dāng)成熟,對測量設(shè)備精密度的研究可以轉(zhuǎn)化為對測量設(shè)備測試數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)偏差的求解。使用成熟的數(shù)據(jù)處理方法研究比較新的高精度設(shè)備的精密度是一種簡單可行而又科學(xué)的方法。