飛秒超快激光器
· 飛秒超快激光器光束質(zhì)量: M² < 1.5
· 脈沖能量達(dá) 100µJ
· 脈寬 600fs
· 峰值功率達(dá) 160MW
· 脈沖重復(fù)頻率達(dá) 50MHz
· 平均功率達(dá) 200W
· 波長 1030、 515、 343nm
技術(shù)參數(shù)
型號 | FXxxx-1 | FXxxx-2 | FXxxx-3 |
波長(nm) | 1030 | 515 | 343 |
光束質(zhì)量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 |
zui大平均功率(W) | 200 | 100 | 30 |
zui大重頻頻率(MHz) | 50 | 50 | 50 |
zui大單脈沖能量(uJ) | 100 | 50 | 15 |
zui小脈寬(fs) | 600 | 600 | 600 |
能量穩(wěn)定性(%)rms | 2 | 3 | 3 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑橢圓度(遠(yuǎn)場)[%] | <10 | <10 | <10 |
光斑直徑(mm) | 3 | 3 | 3 |
發(fā)散角(全角,μrad) | 500 | 250 | 226 |
預(yù)熱時(shí)間(min) | 15 | 20 | 30 |
主要應(yīng)用市場:
· 光伏產(chǎn)業(yè),如:硅晶園的劃片、打孔和切割;薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導(dǎo)電層和絕緣層的燒蝕
· 印刷工業(yè),如: 印刷輪雕版
· 顯示領(lǐng)域,如: 構(gòu)造導(dǎo)電層,橫向連續(xù)硅結(jié)晶
· 電子行業(yè),如: 印刷電路板的鉆孔和切割
· 汽車行業(yè),如: 燃油噴射閥門的制造
· 工具制造和機(jī)械工程,如: 三維快速成型