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飛秒微加工系統(tǒng)

簡要描述:飛秒微加工可用于飛秒3D打印,雙光子聚合等加工技術(shù)。另外飛秒微加工可用于材料的內(nèi)部改性處理。例如用飛秒激光在玻璃內(nèi)部進(jìn)行光波導(dǎo)直寫,光存儲(chǔ)以及新相材料的制作。卓立漢光基于多年研發(fā)的顯微系統(tǒng),結(jié)合國際LX的高功率飛秒激光,推出飛秒激光直寫加工系統(tǒng),為廣大用戶提供微區(qū)加工方案!

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-10-16
  • 訪  問  量:1301
詳細(xì)介紹
品牌ZOLIX/卓立漢光應(yīng)用領(lǐng)域電子,綜合

飛秒微加工系統(tǒng)方案

激光的發(fā)明加快了人類文明的進(jìn)步。激光以其高相干性,高能量等特點(diǎn),使其已經(jīng)廣泛應(yīng)用于人類生活的各個(gè)領(lǐng)域,例如激光焊接,激光測距,激光雷達(dá)等等。其中激光加工也是一個(gè)重要領(lǐng)域。傳統(tǒng)的激光加工一般使用納秒量級脈沖激光或是像CO2激光(10.6um)這樣的強(qiáng)激光,隨著飛秒激光的逐漸普及,使用成本逐漸降低,使用飛秒激光作為加工光源也越來越受到關(guān)注。


飛秒激光加工的特點(diǎn)主要有:

1,飛秒激光脈沖與材料相互作用時(shí)間在一個(gè)非常短的時(shí)間(飛秒量級),因此可以實(shí)現(xiàn)材料的冷加工,

    2,飛秒激光可以聚焦到透明材料的內(nèi)部,實(shí)現(xiàn)真正的三維微加工,

3,超快激光可以使材料發(fā)生多光子吸收,可以突破光學(xué)衍射極限進(jìn)行加工,


飛秒微加工的研究領(lǐng)域:

  1. 可用于飛秒3D打印,雙光子聚合等加工技術(shù)。

  2. 可用于切割,打孔,燒蝕,表面微結(jié)構(gòu)等加工技術(shù)。由于飛秒激光持續(xù)時(shí)間很短,可以在易碎易燃材料上獲得高質(zhì)量的燒蝕形貌

  3. 用于材料的內(nèi)部改性處理。例如用飛秒激光在玻璃內(nèi)部進(jìn)行光波導(dǎo)直寫,光存儲(chǔ)以及新相材料的制作

   飛秒激光直寫加工系統(tǒng)一般根據(jù)制作方式可分為基于掃描振鏡方式和基于樣品位移臺兩種。掃描振鏡的方式其優(yōu)點(diǎn)在于加工精度很高,但是加工的范圍有限

基于樣品位移臺的則可以分為:1,使用高質(zhì)量三維壓電位移臺,可以獲得亞納米級別的精度,范圍可以到幾百微米。2,使用高質(zhì)量的電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線氣浮平臺。其優(yōu)點(diǎn)在于移動(dòng)范圍可以達(dá)到幾厘米。

卓立漢光基于多年的顯微拉曼熒光系統(tǒng),結(jié)合高功率飛秒激光,推出飛秒激光直寫加工系統(tǒng)!

   

圖1:飛秒加工直寫系統(tǒng)簡圖

圖2:顯微系統(tǒng)簡圖


飛秒激光推薦方案:

激光器中心波長:1030nm,

輸出功率: >=20W@ 50-200KHZ, >400uJ@1-50KHz,

  脈寬:<290fs ;

一體化免維護(hù)設(shè)計(jì);


三維位移臺推薦方案:



室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學(xué),半導(dǎo)體表征

?范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY產(chǎn)品特?

• 兩維度XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um;

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm;

• 最?負(fù)載 500 g;

• 針對光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案;

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級

Carrier.S200.XY ?范圍壓電掃描臺 — 技術(shù)參數(shù)


可選版本 ?

正常版本

.NM     絕對?磁版本;

.HV,     ?真空版本 ;

.UHV ,超?真空版本;

1           底?尺?*?度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2           主體材料

鋁合?

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           運(yùn)動(dòng)?程

200 um × 200 um

5            閉環(huán)分辨率

優(yōu)于1nm

6           推薦最?負(fù)載

500 g

7            閉環(huán)傳感器

電容式

8            電容精度

0.3 nm

9           壓電電容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 攝?度

10          推薦使?溫度

11          質(zhì)量

1 kg

12          安裝

螺紋孔?動(dòng)兼容 Carrier.L7550.XY 

 


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